​矩管外高频线圈产生高频电磁场，高纯氩气在高频电磁场中失去电子，等离子体光谱仪电子轰击待测样品，样品的各元素产生跃迁，发射出具有一定的特征谱线的光。通过检测器探测这种特征谱线并检测其强度，可以定性分析元素和定量计算该元素的浓度。

　　

　　当今等离子体光谱仪的发展趋势是、简捷、易用，且具有的分析速度。更加注重实际工作的需求及效率，使用者无需在仪器的调整上耗费时间和精力，从而能够把更多的精力放在分析测定工作上，使ICP成为一个易操作、通用性的实用工具。而且仪器更具多样化的适配能力，可根据实际工作需要选择不同的配置，例如在同一台仪器上可实现垂直观测、水平观测、双向观测，全波段覆盖、分段扫描，无机、有机样品、油样分析，自动进样器、超声雾化器、氢化物发生器、流动注射进样、固体进样等多种配置形式，并可根据需求随时升级，真正做到了一机多能，易用。新型的ICP商品仪器，综合了前几代仪器的优点，对等离子体光谱仪的结构、控制和软件功能等方面进行调整、推出新一代的ICP仪器。由于高集成固体检测器的普遍使用，高配置计算机的引入，使等离子体光谱仪在结构上更加紧凑、功能更加完善，并在控制的可靠性、数据通用性上都有了质的飞跃。