一般分为两类，一种是光栅扫描的，很少使用；另一种是迈克尔逊干涉仪扫描的，称为傅立叶变换微型红外光谱仪，这是目前广泛使用的。光栅扫描的是利用分光镜将检测光(红外光)分成两束，一束作为参考光，一束作为探测光照射样品，再利用光栅和单色仪将红外光的波长分开，扫描并检测逐个波长的强度，后整合成一张谱图。傅立叶变换微型红外光谱仪是利用迈克尔逊干涉仪将检测光(红外光)分成两束，在动镜和定镜上反射回分束器上，这两束光是宽带的相干光，会发生干涉。相干的红外光照射到样品上，经检测器采集，获得含有样品信息的红外干涉图数据，经过计算机对数据进行傅立叶变换后，得到样品的红外光谱图。傅立叶变换微型红外光谱仪具有扫描速率快，分辨率高，稳定的可重复性等特点，被广泛使用。

　　

　　微型红外光谱仪具有许多优势，已成为一个重要的研究热点。虽然采用组装技术可以减小光谱仪的尺寸，但由于其效率低、成本高的固有缺陷，制约了其大规模使用的可能。采用基于MEMS的一体化集成技术，则可以克服这一缺陷。虽然目前光谱仪的集成化成本较高，但随着MEMS技术的迅猛发展，以及光学元件设计的优化，该技术将成为光谱仪微型化的发展方向。