等离子体光谱仪由激发源(X射线管)和探测系统构成。X射线管产生入射X射线(一次X射线)，激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。
 

　　等离子体光谱仪根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。近年来，在各行业应用范围不断拓展，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域，特别是在RoHS检测领域应用得醉多也醉广泛。大多数分析元素均可用其进行分析，可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围为Be到U。并且具有分析速度快、测量范围宽、干扰小的特点。
 

　　获取方法是检测器探测透过样品后带有信息的干涉光，经过信号处理后获取谱图。干涉光的产生是通过光源发射出的入射到光束分裂器(类似半反半透镜)上，将分成两束光分别到定镜与动镜上。由于动镜是在一定距离范围内匀速运动的，因此两束光形成光程差，在返回分束器的时产生干涉。
 

　　等离子体光谱仪由灯源、光阑、干涉仪、样品室、检测器以及各种反射镜、数据处理系统等组成，样品室的体积应尽量大。应能安装各种小的附件，如各种衰减全反射(ATR)附件、漫反射附件、镜反射附件等。现等离子体光谱仪普遍能够将多种附件制作成智能附件，安装后可通过软体智能识别安装的是哪种附件。