微型光谱仪由激发源(X射线管)和探测系统构成。X射线管产生入射X射线(一次X射线)，激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。
 

　　微型光谱仪使用中的注意事项：
 

　　1、从根本上来说是一种相对测量仪器，因此在使用过程中，需要定期对仪器进行标定和校准。
 

　　2、被测量样品的处理与测量精度的关系：
 

　　从微型光谱仪分析理论上说，对被测量样品进行必要的处理是必须的；一般来说，样品处理的越好，则测量精度就会越高，测量结果越可靠。在实际使用过程中，我们应该尽量对被测量样品进行必要的物理处理。
 

　　在测量不规则的样品时，虽然从X射线荧光分析方法上可以对测量进行技术上的校正，从而满足实际测量的需要；但这样做所付出的代价是牺牲测量精度和测量数据的可靠性。
 

　　3、为保证有害元素含量的控制效果，测量数据应与其他的测量手段结合起来使用；更适合生产过程的监控，甚至可以说：在生产过程中对有害元素含量的监控，X射线荧光分析方法是目前可行的分析手段；而有害元素含量的终裁定，则不应该仅仅依靠单一的测量手段。